| 品牌 | 昊量光電 | 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 |
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
XVS系列高精度納米級(jí)垂直定位臺(tái)采用單Crossfixx™超聲壓電電機(jī)驅(qū)動(dòng)，適用于光學(xué)對(duì)準(zhǔn)、真空腔體精密定位。
XVP系列工業(yè)級(jí)高負(fù)載垂直定位臺(tái)采用雙Crossfixx™超聲壓電電機(jī)并聯(lián)，負(fù)載2.5kg，適用于重型裝配、高速檢測(cè)等場(chǎng)景。
高精度垂直壓電位移臺(tái)優(yōu)勢(shì)
大行程10-50mm
分辨率5-1250nm
重復(fù)精度50-80nm
大負(fù)載可達(dá)2.5kg
XVS系列高精度垂直壓電位移臺(tái)核心參數(shù)表
型號(hào) | 行程范圍 (mm) | 驅(qū)動(dòng)力（N） | 分辨率 (nm) | 重復(fù)精度 (nm) | 速度（max）(mm/s) |
XVS-1-40 | 25(SC版30) | 1 | 1250/312/78/5 | ±80(單向) / ±160(雙向) | 100(真空50) |
XVS-3-40 | 25(SC版30) | 3 | |||
XVS-3-60 | 40(SC版48) | 3 | |||
XVS-3-80 | 50(SC版69) | 3 | 50(真空25) | ||
環(huán)境使用要求 | 工作溫度-30℃~+70℃ 濕度要求20%-90% RH | ||||
XVS系列垂直位移臺(tái)
·定位：高精度納米級(jí)垂直定位平臺(tái)，為輕載精密應(yīng)用設(shè)計(jì)。
·核心特點(diǎn)：
·采用單Crossfixx™超聲壓電電機(jī)，實(shí)現(xiàn)無(wú)振動(dòng)、靜音操作。
·斷電自鎖功能，斷電后仍保持位置穩(wěn)定。
·可選質(zhì)量補(bǔ)償模塊（MC1-MC4），負(fù)載能力提升至350g。
·兼容HV/UHV真空環(huán)境，熱耗散<5W，適合穩(wěn)定納米定位。
XPS系列垂直位移臺(tái)核心參數(shù)表
型號(hào) | 行程范圍 (mm) | 驅(qū)動(dòng)力（min)（N） | 分辨率 (nm) | 重復(fù)精度 (nm) | 速度（max）(mm/s) |
XVP-80 | 10 | 15 | 1250/312/78/5 | ±50(雙向) /±2500(雙向) | 50/100 |
環(huán)境使用要求 | 工作溫度-30℃~+70℃ 濕度要求20%-90% RH | ||||
XPS系列垂直位移臺(tái)
·定位：高負(fù)載、高速垂直運(yùn)動(dòng)平臺(tái)。
·核心特點(diǎn)：
·雙Crossfixx™電機(jī)并聯(lián)，驅(qū)動(dòng)力達(dá)15 N（保持力30 N），負(fù)載能力2.5 kg。
·12V低電壓驅(qū)動(dòng)，適合嵌入式系統(tǒng)集成。
·可選低磁/非磁軸承（-LM/-NM），減少磁場(chǎng)干擾。
關(guān)鍵選型建議：
5nm分辨率型號(hào)必須搭配XD-M控制器
UHV版本需指定無(wú)護(hù)套電纜和特殊連接器
超過(guò)100g負(fù)載建議采用MC1-4補(bǔ)償方案
·需納米級(jí)定位：選擇XVS-3-40-5-HV（5 nm分辨率，25 mm行程）。
·需高速大負(fù)載：選擇XVP-80-1250（1250 nm分辨率，1000 mm/s速度）
應(yīng)用場(chǎng)景
·光學(xué)系統(tǒng)校準(zhǔn)
·真空環(huán)境應(yīng)用
·生物樣本操作
·生產(chǎn)線高速檢測(cè)
1000 mm/s掃描速度實(shí)現(xiàn)PCB板缺陷快速篩查。
·重型裝配
機(jī)器人末端執(zhí)行器搬運(yùn)2.5 kg光學(xué)元件（雙電機(jī)30N保持力防滑落）。
·醫(yī)療設(shè)備驅(qū)動(dòng)
手術(shù)機(jī)械臂的垂直進(jìn)給（12V低壓安全驅(qū)動(dòng)，非磁軸承避免MRI干擾）。
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