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應用領域	化工,生物產業,電子/電池	氦質譜檢漏儀檢測方法	真空吹氣法

氦質譜檢漏儀

島津 MSE-2400系列氦質譜檢漏儀——分析管270°磁場偏轉系統（0.17T）氦質譜檢測系統

什么是氦質譜檢漏儀？

眾多檢漏方法中，氦質譜檢漏儀為現在檢測高真空度的良好選擇。島津新推出的MSE-2400系列氦質譜檢漏產品，性能優質，優勢突出。

產品型號


MSE-2400全自動便攜式氦質譜檢漏儀（油泵）搭載專用油旋片泵。	MSE-2401全自動便攜式氦質譜檢漏儀（干泵內置緊湊式）采用非接觸式干泵為無塵室提供更優化的真空系統。	MSE-2402/2403全自動便攜式氦質譜檢漏儀（干泵外置搭載式）采用非接觸式干泵為無塵室提供更優化的真空系統。

MSE-3400/MSE-3410 全自動移動式高性能氦質譜檢漏儀針對各種真空及汽車相關零部件的正規生產線檢查機。	MSE-4400 電子封裝類專用氦質譜檢漏儀在線大批量氣密性檢測機型，適用于半導體元器件、電子封裝器件等氣密性檢測。

氦質譜檢漏儀檢測方法

真空吹氣法（Spray法，噴氦法）（工作容積約5升）

將被測件內部抽成真空，在外部吹撒氦氣。氦氣會從泄露處進入，然后被檢測出來。
適用于焊接管道、波紋管、密封接頭等的泄露測試。

真空外覆法（真空Hood法，真空氦罩法）

將待測件內部抽成真空，外面包裹充滿氦氣的外罩。如果有泄露，在待測件內部可以檢測出氦氣的存在。
適用于流量計等的測試。

吹入法（吸槍法，sniffer法）

因為強度或者其他原因，在待測件不能被抽成真空的情況下，可以在待測件內部加壓注入氦氣（或者氦氣與其他氣體的混合氣體），如果有泄露，可以使用吸槍在泄漏點附近檢測出氦氣。
適用于壓縮機、熱交換器、冷凝器等的測試。

※需要使用吸槍。

浸入法（bombing法，鋼瓶法）

將被測件使用加壓裝置充入氦氣，放入測試倉中。由于壓力差的存在，如果被測件又泄露，在測試倉中將會檢測到氦氣。
適用于石英晶體振蕩器、SAW濾波器等的泄露檢測。

※需要加壓裝置和檢測倉。

真空容器法（Chamber法，ベルジャー法）

將被測件充入氦氣，放在粗真空倉中，真空倉排氣管與檢漏儀相連。如果有泄露，在真空倉中將會檢測到氦氣。
適用于滅火器，氣囊充氣設備的測試等。

并列排氣法

用于大型的設備和大容積真空倉，通過檢測抽氣設備所排出的氦氣檢測泄露。
適用于真空蒸鍍設備、吸收式制冷機、真空爐等設備的檢測與維護。

※無線檢漏設備為選配。


MSE-2400全自動便攜式氦質譜檢漏儀（油泵）搭載專用油旋片泵。	MSE-2401全自動便攜式氦質譜檢漏儀（干泵內置緊湊式）采用非接觸式干泵為無塵室提供更優化的真空系統。	MSE-2402/2403全自動便攜式氦質譜檢漏儀（干泵外置搭載式）采用非接觸式干泵為無塵室提供更優化的真空系統。

MSE-3400/MSE-3410 全自動移動式高性能氦質譜檢漏儀針對各種真空及汽車相關零部件的正規生產線檢查機。	MSE-4400 電子封裝類專用氦質譜檢漏儀在線大批量氣密性檢測機型，適用于半導體元器件、電子封裝器件等氣密性檢測。

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氦質譜檢漏儀

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